珩磨机立方氮化硼(CBN)涂层

　　CBN是珩磨机继人工合成金刚石之后出现的另一种超硬材料，它除了具有许多与金刚石类似的优异物理、化学特性(如超高硬度，仅次于金刚石，高耐磨性，低摩擦系数，低热膨胀系数等)外，同时还具有一些优于金刚石的特性。CBN对于铁、钢和氧化环境具有化学惰性，在氧化时形成一薄层氧化硼，此氧化物为涂层提供了化学稳定性，因此它在加工硬的铁材、灰铸铁时耐热性也极为优良，在相当高的切削温度下也能切削耐热钢、淬火钢、钛合金等,并能切削高硬度的冷硬轧辊、渗碳淬火材料以及对刀具磨损非常严重的硅铝合金等难加工材料。

　　自1987年Inagawa等成功地制备了出纯的CBN涂层以来，在国际上掀起了CBN硬质涂层的研究热潮。低压气相合成CBN涂层的方法主要有CVD和PVD法。CVD包括化学输运PCVD，热丝辅助加热PCVD，ECR-CVD等;PVD则有反应离子束镀、活性反应蒸镀、激光蒸镀离子束辅助沉积法等。研究结果表明：在合成CBN相、对硬质合金基体的良好粘结和合适的硬度等方面已取得了进展，目前沉积在硬质合金上的立方氮化硼最大仅为0.2～0.5μm，若想达到商品化，则必须采用可靠的技术来沉积高纯的经济的CBN涂层，其厚度应在3～5μm，并在实际金属切削加工中证实其效果。